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SEM、EDS、EBSD 操作流程(Zeiss) 一、SEM操作流程 ① 样品准备:样品固定在样品台上;底部使用导电胶粘贴;观察面朝上;气枪吹除表面杂质;戴手套操作。 ② 装样与抽真空:Vent放气→打开样品仓→放入样品→关闭样品仓→Pump抽真空。 ③ 样品位置检查:Camera查看样品位置;Stage...
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